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Table 1

Parameters for the selected meshes. Δx denotes the element width.

Mesh Coarse Medium Fine
Grid points 5.7 × 106 25.1 × 106 155.1 × 106
Elements 15.3 × 106 74.4 × 106 493.4 × 106
Wall prisms 10 15 20
Δxchamber 1.0 mm 0.5 mm 0.25 mm
Δxrefined 0.5 mm 0.25 mm 0.125 mm
Δt 6 μs 3 μs 1.5 μs
CPU 144 288 3000
CPUh 1 × 104 7 × 104 1 × 104

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